Сканирование дорожки из меди с микросхемы на СЗМ NanoEducator. Сканирование разных размеров, с разными рабочими точками и разным усилением обратной связи.
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 Усиление ОС 3 |
 Усиление ОС 4 |
 |
 Усиление ОС 3 |
 Усиление ОС 4 |
 Усиление ОС 5 |
 Усиление ОС 6 |
Средний балл: 7.2 (голосов 9)
Комментарии
Шаров Тарас Владимирович,
26 мая 2012 14:15
Прошу прощения, не хочу вас расстраивать. С Эдюкатором я проработал тесно уже 6 лет и с уверенностью скажу, что от реальной топографии на этих сканах почти ничего не осталось из-за большого усиления в цепи ОС. Если интересно то здесь http://www.m...ic.php?t=78 можно поговорить на тему Эдюкатора.
Лысков Евгений Анатольевич,
27 мая 2012 07:18
Возможно вы правы, но эти изображения черновые, ещё практически не обрабатывались. Вчера пробовал обрабатывать картинку, что-то интересное вырисовывается, попытаюсь в скором времени обработать все изображения и скинуть на Нанометр.
Шаров Тарас Владимирович,
28 мая 2012 21:30
Может что-то вытянуть и удастся из этих изображений, но проще сделать новые сканы.
Позвольте, расскажу ход своих действий:
Ставим размер поля сканирования как у вас 10х10 мкм2. Количество точек лучше выставлять от 200х200. Скорости туда и обратно по 4 мкм/с. ОС 3. Запускаем сканирование. Во время сканирования нажимаем кнопку "установка взаимодействия" (по умолчанию стоит 0.10). Уменьшаем взаимодействие на 0.02-0.04 (т.е. ставим 0.06-0.08) и нажимаем "ОК" когда начнет рисовать очередную строку. Если при этом не произойдет скачка вверх, то можно снова уменьшить взаимодействие. Этот параметр также как и ОС влияет на шумы и возбуждение системы, которое видно на ваших сканах. В принципе (на жестких объектах) сканирование возможно при установленном нулевой величине взаимодействия. Если возбуждение все еще видно (проверить просто: уменьшаем скорость в 2 раза, если период видимого рельефа изменился, то это возбуд и картинка далека от реального рельефа), то останавливаем сканирование и уменьшаем ОС на 1. Тут стоит заметить, что изменение на ОС на 1 физически меняет коэффициент усиления в цепи ОС в 2 раза (там стоит промежуточный усилитель с коэффициентом усиления 2N, а N меняется программно). Снова запускаем сканирование установив величину взаимодействия 0.10 и во время сканирования ее уменьшаем. С помощью такой настройки можно уменьшить шум по высоте до 5-20 нм. Но бывает неприятность, что при таком усилении не отрабатываются большие перепады высот. Это видно как одинаковый наклон на спаде рельефа. В таком случае нужно уменьшать скорость сканирования и искать компромисс между временем сканирования, температурным дрейфом и качеством скана. Иногда бывает, что дрейф не сильно важен, тогда можно сканировать и подольше. Мне иногда приходилось делать сканы по 2-3 часа. Занятие медитативное.
Еще. На маленьких сканах менее 1х1 мкм2 не стоит ставить большую скорость иначе программа начинает подтормаживать. Нормально это когда на строку уходит более одной секунды. И не стоит делать перехват изображения во время сканирования, повышается вероятность вылета программы. Если такое произошло во время сканирования, то перед повторным запуском стоит перегрузить контроллер. Как показала практика, зонд почти всегда остается не испорченным.
Надеюсь написанное мною в какой-то мере поможет получать более качественные сканы.
Позвольте, расскажу ход своих действий:
Ставим размер поля сканирования как у вас 10х10 мкм2. Количество точек лучше выставлять от 200х200. Скорости туда и обратно по 4 мкм/с. ОС 3. Запускаем сканирование. Во время сканирования нажимаем кнопку "установка взаимодействия" (по умолчанию стоит 0.10). Уменьшаем взаимодействие на 0.02-0.04 (т.е. ставим 0.06-0.08) и нажимаем "ОК" когда начнет рисовать очередную строку. Если при этом не произойдет скачка вверх, то можно снова уменьшить взаимодействие. Этот параметр также как и ОС влияет на шумы и возбуждение системы, которое видно на ваших сканах. В принципе (на жестких объектах) сканирование возможно при установленном нулевой величине взаимодействия. Если возбуждение все еще видно (проверить просто: уменьшаем скорость в 2 раза, если период видимого рельефа изменился, то это возбуд и картинка далека от реального рельефа), то останавливаем сканирование и уменьшаем ОС на 1. Тут стоит заметить, что изменение на ОС на 1 физически меняет коэффициент усиления в цепи ОС в 2 раза (там стоит промежуточный усилитель с коэффициентом усиления 2N, а N меняется программно). Снова запускаем сканирование установив величину взаимодействия 0.10 и во время сканирования ее уменьшаем. С помощью такой настройки можно уменьшить шум по высоте до 5-20 нм. Но бывает неприятность, что при таком усилении не отрабатываются большие перепады высот. Это видно как одинаковый наклон на спаде рельефа. В таком случае нужно уменьшать скорость сканирования и искать компромисс между временем сканирования, температурным дрейфом и качеством скана. Иногда бывает, что дрейф не сильно важен, тогда можно сканировать и подольше. Мне иногда приходилось делать сканы по 2-3 часа. Занятие медитативное.
Еще. На маленьких сканах менее 1х1 мкм2 не стоит ставить большую скорость иначе программа начинает подтормаживать. Нормально это когда на строку уходит более одной секунды. И не стоит делать перехват изображения во время сканирования, повышается вероятность вылета программы. Если такое произошло во время сканирования, то перед повторным запуском стоит перегрузить контроллер. Как показала практика, зонд почти всегда остается не испорченным.
Надеюсь написанное мною в какой-то мере поможет получать более качественные сканы.
Лысков Евгений Анатольевич,
29 мая 2012 08:03
Спасибо большое, это очень полезная рекомендация. Завтра схожу в лабораторию СЗМ и попытаюсь получить новые сканы более хорошего качества.
Малиновская Ольга Сергеевна,
30 мая 2012 14:50
а где же дорожки? сплошной шум
Лысков Евгений Анатольевич,
02 июня 2012 08:02
Очень маленький размер сканов, поэтому как таковых дорожек уже не видно. http://www.n...272516.html здесь вы можете посмотреть на сами дорожки, а эти изображения нужно ещё обрабатывать.
Большакова Анастасия Владимировна,
02 июня 2012 10:37
Обрабатывай, не обрабатывай, в данном случае ничего не поможет - сплошная пикселизация.
Этот "коврик" только в качестве коврика и можно использовать, ну еще на обои сгодиться. Если не хотите антирекламы, то не снимайте никогда такие размеры кадров, ну или хотя бы не показывайте. А еще лучше, прежде чем выкладывать посоветуйтесь с кем-нибудь знающим.
Этот "коврик" только в качестве коврика и можно использовать, ну еще на обои сгодиться. Если не хотите антирекламы, то не снимайте никогда такие размеры кадров, ну или хотя бы не показывайте. А еще лучше, прежде чем выкладывать посоветуйтесь с кем-нибудь знающим.
Лысков Евгений Анатольевич,
03 июня 2012 07:57
Здесь вы можете посмотреть обработанные изображения http://www.n...272763.html
Большакова Анастасия Владимировна,
04 июня 2012 22:50
мой и не только ответ найдете там же. Антиреклама на 5+.
Шаров Тарас Владимирович,
05 июня 2012 19:09
Анастасия, про какую антирекламу вы говорите?
Большакова Анастасия Владимировна,
21 марта 2013 22:13
Пикселизация, и генерёжка (шум, звон). Ни одного красивого кадра - это и есть антиреклама.
Федчун Виктория Олеговна,
15 апреля 2014 21:33
Забавненько
Сейчас на практике как раз таки получаем такое изображение.
Сейчас на практике как раз таки получаем такое изображение.
Остапенко Алла Александровна,
04 марта 2015 15:32
Для того чтобы оставить комментарий или оценить данную публикацию Вам необходимо войти на сайт под своим логином и паролем. Зарегистрироваться можно здесь
