ЗАО «Найтек Инструмент», совместно с компанией Horiba Scientific провели совместный семинар «Методы анализа тонких пленок и покрытий».
В первой части семинара основное внимание было уделено методу спектральной эллипсометрии. Кирилл Аникин, Представитель компании Horiba Scientific в России, рассказал о приборах компании в области спектральной эллипсометрии. Асия Шагалеева, технический консультант Horiba Scientific , рассказала о новейших разработках компании, в частности об использовании нового автоматизированного эллипсометра AUTO SE для решения реальных производственных задач. Была проведена демонстрация программного обеспечения. Также была подчеркнута необходимость проводить предварительные испытания образцов заказчиков для оценки возможности метода и правильного подбора комплектации. Спектральная эллипсометрия позволяет определять толщины тонких пленок (причем для многослойных структур), определить показатель преломления и поглощения в зависимости от длины волны, определять анизотропию оптических свойств и градиент, оценивать шероховатость поверхности, оценивать композицию пленки.
Во второй части семинара, Михаил Нехин, менеджер ЗАО «Найтек Инструментс», представил спектрометрию тлеющего разряда в приложении для анализа тоникх пленок. Данный метод позволяет получить элементный состав пленок в зависимости от глубины, включая газовые примеси. Главное преимущество метода – быстрота и простота измерения. Отсутствие необходимости высокого вакуума в системе и высокая скорость анализа позволяют получать реальные результаты в течение нескольких минут.
ЗАО «Найтек Инструментс» и Horiba Scientific благодарят слушателей семинара за участие, сложные и интересные вопросы и плодотворную дискуссию.
Представительство Horiba Scientific www.horiba.ru/ Россия, 127106, Москва, Алтуфьевское шоссе, дом 13, стр. 5 Тел:(+7)-(495)-221-87-73 Факс:(+7)-(495)-221-87-68
ЗАО «Найтек Инструментс» www.nytek.ru141700, Московская область, г. Долгопрудный, ул. Дирижабельная, 15 АТел./Факс: (498) 744-63-57, (495) 661-06-81
